일본의 소재 제조업체들이 한국과 대만에서 반도체 재료 증산에 나서고 있다고 니혼게이자이신문이 3일 보도했다.

첨단 반도체 제조 시설이 밀집돼 있는 두 나라에서 기술이나 제품 제조 능력을 강화하는 동시에 공급 체계를 다원화하려는 움직임으로 분석된다.

도쿄오카공업은 최근 인천에 있는 기존 공장에 수십억 엔을 들여 회로 형성에 사용하는 포토레지스트(감광재료) 제조시설을 확충해 생산능력을 2018년의 2배로 높였다.

이 회사의 감광재료 세계 시장 점유율은 25%로 1위다.

도쿄오카공업은 증강한 인천 공장에서 첨단 반도체 생산 기술인 ‘첨단자외선(EUV)’을 지원하는 감광재료 등의 원료가 되는 수지를 일본에서 보내고 현지에서 조달 가능한 용매를 결합해 제조한다.

다이킨공업은 한국 반도체 제조장치 제조업체와 합작 형태로 제조공정용 가스 제조업체를 설립한다. 40억 엔(약 400억 원)을 들여 제조공장도 신설할 계획이다.

이 공장에서는 2022년 10월부터 에칭공정에 사용되는 가스를 생산한다. 지금까지는 일본과 중국에서 생산한 제품을 공급해 왔다.

도쿄오우카와 다이킨은 각각 삼성전자와 SK하이닉스에 반도체 소재를 공급하고 있다.

대만에서는 신에츠화학공업이 신설한 감광재료 공장 가동에 최근 착수했다. 설비 투자액은 자국 내 공장의 생산력 증강과 함께 약 300억 엔(약 3000억 원)에 달한다. 지금까지 일본 내에서만 생산해 오던 EUV용 감광재료도 생산한다.

쇼와전공의 자회사인 쇼와전공 머티리얼즈(구 히타치화성)도 2023년까지 200억 엔(약 2000억 원)을 들여 한국과 대만의 실리콘웨이퍼 연마재나 배선기판 재료의 생산을 증강한다.

일본 화학기업은 최근 한국과 대만에 대한 투자를 늘리고 있다. 일본은행의 국제수지 통계에 따르면 2019년까지 화학•의약 분야 직접 투자는 화학 분야를 중심으로 성장이 계속돼 왔으며, 이 성장을 견인한 것은 반도체 관련 재료이다.

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